应用：

　　DF-500系列　全金属质量流量控制器适合于半导体工艺、腐蚀性气体质量、流量高准确度

特性：

　　Ø采用新型电磁阀，提升了响应性，实现了整个区域1秒钟以内高速响应

　　Ø采用不锈钢密封材质，可支持高反应性气体

　　Ø10SCCM~10SLM的产品阵容

　　Ø配备了2个通信端口，支持菊花链

　　Ø标准配备了RS-485通信功能

　　Ø支持ROHS、CE规格